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등록일 : 2017-10-29


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반도체 디스플레이 플라즈마 공정 진단용 광학발광분석(OES) 센싱 장비 전문업체 코리아스펙트랄프로덕츠(KSP)가 국내외 장비 업체와 협력해 '통합화'를 추진한다. 그동안 단품 판매에 전념했다면 앞으로는 주요 생산 설비에 센싱 장비를 붙여 판매량을 늘릴 계획이다. KSP는 국내 최대 반도체 업체에 OES 센싱 장비를 1300대 이상 공급한 실적이 있다. 계열 디스플레이 업체도 이 회사 OES 센싱 장비를 쓴다.

이창석 KSP 대표는 29일 “주요 장비 기업에 KSP OES 센서 기술을 공급하는 방향으로 논의를 하고 있다”면서 “통합이 이뤄지면 판매실적 역시 크게 높아지고 OES 활용한 실시간 공정진단 활용도도 높아질 것”으로 기대했다.

OES 센서는 반도체 디스플레이 생산장비 내 플라즈마 광신호를 분석, 공정이 제대로 진행되고 있는지를 실시간으로 진단할 수 있게끔 돕는 장비다. 플라즈마를 활용하는 박막증착(CVD), 식각(Etch) 공정장비 등에 붙어서 활용된다. 갑작스런 이상 신호가 나타나면 그 즉시 공정을 중단하고 문제점을 잡아낼 수 있다. 수율 확대, 생산성 향상용 장비인 셈이다. OES 센싱 장비는 그 동안 해외 업체 제품이 주를 이뤘으나 2003년 KSP가 설립되면서 국산화에 성공했다.

KSP 장비가 생성하는 발광분석 데이터는 반도체나 디스플레이 제조업체 데이터센터로 전송돼 생산 빅데이터 분석 과정을 거치게 된다. 제조업체는 이러한 빅데이터 분석으로 실시간 공정진단 외 잠재적 공정상 사고나 문제점을 예방하는 것도 가능하다.

어플라이드머티어리얼즈 같은 해외 반도체 장비 업체는 OES 센서를 주력 장비의 주요 파츠로 기본 제공한다. 다만 기본 파츠로 제공되기 때문에 고객사의 사양 변경 요구에 유연하게 대응하지 못하는 실정이다. KSP는 고객사 요구를 100% 맞출 수 있는 유연성을 무기로 확판을 추진하겠다는 계획이다.

최근 국내외 반도체 디스플레이 생산 업계는 실시간 공정 진단 분야의 중요성을 인지하고 해당 분야의 역량을 강화하는 방향으로 생태계 조성에 힘쓰고 있다.

이 대표는 “실시간 공정진단을 위한 새로운 형태의 센서를 개발 중이고, 장비 업체와의 협력이 가시화되면 현재 20억원대인 연 매출이 100억원대 이상으로 확대될 것이라 기대한다”고 말했다.

KSP는 지난해 반도체의 날 행사에서 공정 진단 분야 민간 부분 업적을 인정받아 한국반도체산업협회장상을 수상했다. 산업통상자원부 2016년 수요자 연계형 소재부품 기술개발사업과 2017년 핵심소재 원천기술 개발사업 주관기관으로 선정돼 공정진단과 환경계측 관련 차세대 핵심 원천 기술을 개발하고 있다.


한주엽 반도체 전문기자 powerusr@etnews.com

기사 원문 보기 http://www.etnews.com/20171027000117

 

 




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