코리아스펙트랄프로덕츠와 협력해 개발, 상용화 시작

[대전=뉴시스] 김양수 기자 = 나노종합기술원이 반도체 공정진단센서 생산업체인 코리아스펙트랄 프로 덕츠㈜(KSP)와 함께 외산에 의존하던 '반도체 공정 진단 광센서' 핵심부품을 개발하는데 성공했다고 1일 밝혔다.

광 진단센서(Optical Diagnostic Sensor)는 빛의 발광 혹은 흡수 스펙트럼 분석을 통해 반도체 제조장비 상태와 공정 이상 등을 실시간 비접촉식 방법으로 진단할 수 있는 핵심부품이다.

 이번에 개발한 제품은 높은 측정 정밀도 특성은 물론 차세대 반도체의 품질 유지 및 수율 확보에 필수적인 첨단분석 기능을 갖추고 있어 미국 등 해외 수입에 의존하던 반도체 장비용 센서 부품의 국산 대체가 가능하다.

 반도체 생산기업들은 고집적·초미세화 공정이 적용된 반도체 생산을 위해 정밀한 측정성능과 스마트 공정제어가 가능한 고성능 진단 센서를 요구하고 있으나 이를 개발하는 중소기업들은 반도체 생산기업에서 개발제품 테스트 지원을 받을 수 없어 맞춤형 제품 개발이 사실상 불가능했다.

이에 따라 KSP는 반도체 테스트베드 기관인 나노종기원의 생산라인과 설비, 반도체 공정에 필요한 자문 등을 통해 최종 수요기업이 요구하는 납품 성능기준(정밀도, 스마트 공정제어 가능 등)을 충족하는 제품을 개발하는데 성공했다.

 KSP는 개발된 기술을 이미 생산라인에 적용, 시제품을 제작하고 사용자 맞춤형 제품 양산해 본격 들어갔다.

 KSP 관계자는 "나노종기원과의 협력을 통해 세계최고 기업과 경쟁할 수 있는 혁신제품 개발에 성공할 수 있었다"며 "개발제품은 지난해 12월 국내 반도체 생산라인 장비에 설치돼 시험평가 중이며 올해부터 본격적인 매출발생이 기대된다"고 말했다.

 나노종기원 이조원 원장은 "이번 국산화 성과는 테스트베드를 활용한 반도체 부품 상용화 성공사례로, 향후 반도체 장비 및 부품 실증평가를 위한 테스트베드 추가 구축 등을 통해 국가 반도체 부품산업 육성에 기여할 계획이다"고 밝혔다.


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