[아이뉴스24 최상국 기자] 나노종합기술원(원장 이조원)은 코리아스펙트랄프로덕츠(KSP, 대표 이창석)와 함께 반도체 제조 공정의 광진단 센서를 국산화했다고 1일 밝혔다.

나노종기원과 KSP가 개발한 광 진단 센서는 반도체 제조 공정 중 증착, 식각 등 핵심 공정에 사용되는 가스에 의해 나타나는 빛의 발광 혹은 흡수 스펙트럼 분석해 반도체 제조 장비의 상태와 공정 이상 등을 실시간 비접촉식으로 진단할 수 있는 핵심 부품이다.

개발한 제품은 0.3nm의 최대분해능을 갖는 단파장 측정용(350~640 nm), 장파장 측정용(590~850 nm) 광진단 센서 2종과, 분광기 2대를 장착(2채널)할 수 있는 시스템 1개 모델이다.

나노종기원은 이번 개발제품이 해외 수입제품보다 측정 정밀도가 우수한 것은 물론, 차세대 반도체의 높은 품질 유지와 수율 확보에 필수적인 첨단분석 기능(스마트 공정 제어)을 갖춘 제품으로, 미국 등 해외 수입에 의존하던 반도체 장비용 센서 부품의 국산 대체가 가능해질 전망이라고 전했다.

KSP는 "반도체 테스트베드 기관인 나노종기원과의 공동 개발을 통해, 최종 수요기업 납품을 위한 성능기준(정밀도, 스마트 공정제어 가능 등)을 충족하는 제품 개발에 성공할 수 있었다"면서 "지난해 12월 국내 반도체 생산라인 장비에 설치돼 시험평가 중이며, 올해 28억원, 23년 70억원, 24년 200억원의 매출을 기대하고 있다"고 밝혔다.

이조원 나노종기원장은 “이번 국산화 성과는 테스트베드를 활용한 반도체 부품 상용화 성공사례로, 향후 반도체 장비/부품 실증평가를 위한 테스트베드 추가 구축 등을 통해 국가 반도체 부품산업 육성에 기여할 계획”이라고 밝혔다.