나노종합기술원(원장 이조원)은 코리아스펙트랄프로덕츠(KSP, 대표 이창석) 과 공동으로 수입에 의존하던 '반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품' 기술자립화에 성공했다고 1일 밝혔다.

광 진단센서는 반도체 제조 공정에 사용하거나 배출하는 가스에 의해 나타나는 빛의 발광, 흡수 스펙트럼을 분석해 제조 장비 상태와 공정 이상 등을 진단하는 핵심 부품이다.

새로 개발한 제품은 높은 측정 정밀도는 물론이고 차세대 반도체의 높은 품질 유지와 수율 확보에 필수적인 첨단분석 스마트 공정 제어 기능을 갖췄다. 미국 등 해외 수입에 의존하던 반도체 장비용 센서 부품의 국산 대체가 가능할 것으로 예상하고 있다.

반도체 생산기업은 고집적, 초미세화 공정이 적용된 반도체를 생산하기 위해 정밀한 측정 성능, 스마트 공정제어가 가능한 고성능 진단 센서가 필요하다. 이를 개발하는 중소기업은 반도체 생산기업에서 개발제품 테스트 지원을 받을 수 없어 반도체 기업이 원하는 수준의 제품을 개발하기 어려웠다. KSP는 반도체 테스트베드 기관인 나노종합기술원과의 공동 개발로 최종 수요기업 납품을 위한 성능 기준을 충족하는 제품 개발에 성공했다.

KSP는 지난해 12월 국내 반도체 생산라인 장비에 제품을 설치하여 시험 평가 중이며 올해부터 본격 매출 발생을 기대하고 있다. 예상 매출액는 올해 28억원, 2023년 70억원, 2024년 200억원이다.

이조원 나노종기원 원장은 "이번 국산화 성과는 테스트베드를 활용한 반도체 부품 상용화 성공사례" 라며 "향후 반도체 장비, 부품 실증 평가를 위한 테스트베드 추가 구축 등을 통해 국가 반도체 부품산업 육성에 기여할 계획" 이라고 말했다.

한편 이번 개발성과는 과학기술정보통신부 나노종합기술원 지원사업(나노 오픈 이노베이션 랩 협력사업)을 통해 이뤄졌다.

대전=김영준 기자 kyj85@etnews.com

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