[충남일보 이진희 기자] 나노종합기술원(나노종기원)이 ‘코리아스펙트랄 프로덕츠’(KSP)와의 공동연구를 통해, 그동안 수입에 의존하던 ‘반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품’ 기술을 국산화에 성공했다.

이번 개발 제품은 높은 측정 정밀도는 물론, 차세대 반도체의 높은 품질 유지와 수율 확보에 필수적인 첨단분석 기능을 갖춘 제품으로, 미국 등 해외 수입에 의존하던 반도체 장비용 센서 부품의 국산 대체가 가능해질 전망이다.

반도체 측정 장비·센서 시장은 공정 미세화와 대면적화, 다양화 추세 등에 따라 글로벌 시장에서 경쟁이 치열한 분야로 현재까지는 해외 기업이 높은 시장 점유율을 확보하고 있었으나, 이번 상용화를 통해 관련 제품 국산화와 해외 수출이 기대된다.

이조원 나노종기원 원장은 “이번 국산화 성과는 테스트 베드를 활용한 반도체 부품 상용화 성공사례로, 향후 반도체 장비·부품 실증평가를 위한 테스트 베드 추가 구축 등을 통해 국가 반도체 부품산업 육성에 기여할 계획”이라고 밝혔다.

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