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나노종합기술원과 코리아스펙트랄프로덕츠는 공동연구를 통해 반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품 국산화에 성공했다.[자료= 나노종합기술원]


나노종기원-코리아스펙트랄프로덕츠 공동연구 성과
해외 시장 진출 등 매출 증대 예상

차세대 반도체의 높은 품질 유지와 수율 확보에 필수적인 첨단분석 기능(스마트 공정 제어)을 갖춘 부품이 개발되며 반도체 장비용 센서 부품 국산 대체가 가능해질 것으로 기대된다.

나노종합기술원(원장 이조원)은 코리아스펙트랄프로덕츠(대표 이창석, 이하 KSP)와 공동연구를 통해 '반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품' 기술자립화에 성공했다고 1일 밝혔다.

광진단센서는 반도체 제조 공정 중 증착, 식각 등 핵심 공정에 사용되거나 배출되는 가스에 의해 나타나는 빛의 발광 혹은 흡수 스펙트럼을 분석하는 센서. 반도체 제조 장비 상태와 공정 이상 등을 실시간 비접촉식 방법으로 진단할 수 있는 핵심 부품이다.

반도체 생산기업은 고집적·초미세화 공정이 적용된 반도체 생산을 위해 정밀한 측정 성능과 스마트 공정제어가 가능한 고성능 진단 센서를 요구한다. 하지만 이를 개발하고 있는 중소기업은 반도체 생산기업에서 개발 제품 테스트 지원을 받을 수 없어, 반도체 기업에서 요구하는 제품사양을 충족하는 제품개발이 불가능했다. 국내 반도체 기업 대부분 고성능 부품은 해외 제품을 사용해 왔다. 국내 시장만 400억원 규모다.

나노 종기원에 의하면 이번 개발 제품은 해외 선진제품에 비해 분해능이 높고 분광센서와 어레이 픽셀수가 높아 측정 정밀도 면에서 앞선 기술력을 갖췄다. 현재 국내 기업 생산라인 장비에 부착돼 테스트 중이다. 해외 시장에서도 경쟁력을 가질 것으로 예상된다. 

KSP는 반도체 테스트베드 기관인 나노종기원과 공동 개발을 통해 최종 수요 기업 납품을 위한 성능 기준(정밀도, 스마트 공정제어 가능 등)을 충족하는 제품 개발에 성공했다. 이번 성과로 KSP는 올해 매출액 28억원, 23년 70억원, 24년 200억원의 매출 증대가 기대된다.

이조원 원장은 "금번 국산화 성과는 테스트베드를 활용한 반도체 부품 상용화 성공사례로, 향후 반도체 장비, 부품 실증평가를 위한 테스트베드 추가 구축 등을 통해 국가 반도체 부품산업 육성에 기여할 계획"이라고 말했다.

한편 이번 성과는 과학기술정보통신부 나노종합기술원 지원사업(나노 Open Innovation Lab협력사업)을 통해 이뤄졌다.


출처 : 헬로디디(https://www.hellodd.com)
원문 : https://www.hellodd.com/news/articleView.html?idxno=91593



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