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관리자2나노종기원-코리아스펙트랄프로덕츠(주), 광진단 센서 상용화
나노종합기술원(이하 나노종기원)이 공동연구를 통해 수입에 의존하던 ‘반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품’ 기술자립화에 성공했다고 1일 밝혔다.
광 진단센서는 반도체 제조 공정 중 제조 장비 상태와 공정 이상 등을 실시간 비접촉식 방법으로 진단할 수 있는 핵심 부품이다.
이번 개발제품으로 미국 등 해외 수입에 의존하던 반도체 장비용 센서 부품의 국산 대체가 가능해질 전망이다. 반도체 생산기업은 고집적·초미세화 공정이 적용된 반도체 생산을 위해 정밀한 측정 성능과 스마트 공정제어가 가능한 고성능 진단 센서를 요구하고 있다. 그러나 이를 개발하고 있는 중소기업은 반도체 생산기업에서 개발제품 테스트 지원을 받을 수 없어, 반도체 기업에서 요구하는 제품사양을 충족하는 제품개발이 불가능했다.
공동연구에 참여한 코리아스펙트랄 프로 덕츠(주) 관계자는 "나노종기원과의 협력을 통해 세계최고 기업과 경쟁할 수 있는 혁신제품 개발에 성공할 수 있었으며, 개발제품은 올해부터 본격적인 매출발생이 기대된다"고 전했다.
최윤서 기자 cys@cctoday.co.kr
출처 : 충청투데이(http://www.cctoday.co.kr)
기사 원문 : https://www.cctoday.co.kr/news/articleView.html?idxno=2122005
이번 개발제품으로 미국 등 해외 수입에 의존하던 반도체 장비용 센서 부품의 국산 대체가 가능해질 전망이다. 반도체 생산기업은 고집적·초미세화 공정이 적용된 반도체 생산을 위해 정밀한 측정 성능과 스마트 공정제어가 가능한 고성능 진단 센서를 요구하고 있다. 그러나 이를 개발하고 있는 중소기업은 반도체 생산기업에서 개발제품 테스트 지원을 받을 수 없어, 반도체 기업에서 요구하는 제품사양을 충족하는 제품개발이 불가능했다.
공동연구에 참여한 코리아스펙트랄 프로 덕츠(주) 관계자는 "나노종기원과의 협력을 통해 세계최고 기업과 경쟁할 수 있는 혁신제품 개발에 성공할 수 있었으며, 개발제품은 올해부터 본격적인 매출발생이 기대된다"고 전했다.
최윤서 기자 cys@cctoday.co.kr
출처 : 충청투데이(http://www.cctoday.co.kr)
기사 원문 : https://www.cctoday.co.kr/news/articleView.html?idxno=2122005
