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나노종기원, 테스트베드 활용해 제품 성능검증
반도체 공정 상태 진단 및 분석 지원에 활용





나노종합기술원은 코리아스펙트랄프로덕츠(대표 이창석)과 함께 해외 수입에 의존하던 '반도체 공정 광 진단센서'를 국산화하는 데 성공했다고 1일 밝혔다.

반도체 측정 장비와 센서는 공정 미세화, 대면적화, 다양화 등의 추세에 따라 글로벌 시장에서 기술 경쟁이 치열한 분야로, 해외 기업이 높은 시장 점유율을 확보하고 있다.

하지만, 중소기업이 반도체 장비용 센서를 개발했다 하더라도 반도체 생산기업에서 개발된 제품의 테스트 지원을 받을 수 없어 제품 사양을 충족하는 개발 자체가 불가능한 실정이다.

이번에 개발된 광 진단센서는 반도체 제조 공정에서 장비 상태나 공정 이상 등을 실시간 비접촉식 방법으로 진단하는 핵심 부품이다.

코리아스펙트랄프로덕츠는 반도체 테스트베드 기관인 나노종기원 지원을 받아 최종 수요기업 납품 기준을 충족하는 제품을 개발하는 데 성공했다.

특히 해외 제품에 비해 분해능이 높아 정밀도가 뛰어나고, 첨단 분석 기능을 갖춰 스마트 공정 제어가 가능하다. 광 진단센서는 지난해 12월 국내 반도체 생산라인에 설치, 시험 평가를 진행하고 있으며, 올해부터 반도체 생산기업에 본격 공급될 예정이다.

이조원 나노종기원장은 "광 진단센서 국산화는 반도체 테스트 베드를 활용한 상용화 성공 사례로, 향후 반도체 장비나 부품 실증 평가를 위한 테스트 베드 추가 구축을 통해 국가 반도체 부품산업 육성에 기여하겠다"고 말했다. 이준기기자 bongchu@dt.co.kr

출처 : 디지털타임스 (http://www.dt.co.kr/)
원문 : http://www.dt.co.kr/contents.html?article_no=2021020102109931731002&ref=naver

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