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나노종합기술원(이하 나노종기원)은 코리아스펙트랄 프로덕츠㈜(이하 KSP)와 공동연구를 통해 ‘반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품’ 기술 국산화에 성공했다고 1일 밝혔다.

광 진단센서(Optical Diagnostic Sensor)는 반도체 제조 공정 중 사용되거나 배출되는 가스들에 의해 나타나는 빛의 발광 혹은 흡수 스펙트럼을 분석한다.


이를 통해 제조 장비 상태와 공정 이상 등을 실시간 비접촉식 방법으로 진단할 수 있는 핵심 부품이다.



이번 개발제품은 높은 측정 정밀도 특성은 물론, 차세대 반도체의 높은 품질 유지와 수율 확보에 필수적인 스마트 공정 제어기능을 갖췄다.

그간 미국 등 해외 수입에 의존하던 반도체 장비용 센서 부품의 국산 대체가 가능해질 전망이다.

이번에 개발된 제품은 지난해 12월 국내 반도체 생산라인 장비에 설치돼 시험평가가 진행 중이며, 올해부터 본격 상용화에 들어가게 된다.


출처 : 뉴스1 (https://www.news1.kr/)

원문 : https://www.news1.kr/articles/?4198579

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한국일보 _액상 내 미세입자 광측정... 수입산 대체

헬로티 _코리아스펙트랄프로덕츠, 유일무이한 분광계 센서로 글로벌 시장 도약한다

기계신문 _코리아스펙트랄프로덕츠, ‘반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품’ 국산화 성공

헤럴드경제 _100% 해외의존 '반도체 공정 센서' 국산화 성공

헬로디디 _반도체 공정 진단 핵심부품 '광센서' 국산화

충남일보 _나노종기원, 반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품 국산화

중도일보 _나노종기원-코리아스펙트랄프로덕츠(주) 반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품 국산화

파이낸스투데이 _나노종합기술원 "반도체 공정 광 센서 핵심 부품 국산화"

서울경제 _나노종기원, 반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품 국산화

디지털타임스 _반도체 장비/공정 이상 여부 진단하는 '광 진단센서' 국산화

뉴스1 _나노종기원, 반도체 공정 진단 광센서 핵심부품 국산화

전자신문 _나노종기원 KSP, 반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품 국산화 성곡

연합뉴스 _나노종합기술원 "반도체 공정 광 센서 핵심 부품 국산화"

아이뉴스24 _반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품 국산화

뉴시스 _나노종기원, 반도체 공정 진단 광센서 핵심부품 국산화

이데일리 _미중일 수입 반도체 장비 센서 국산화, 수입 대체 효과

파이낸셜뉴스 _반도체 공정 진단 광센서 국산화 성공

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