수요기업 납품 위한 성능기준 충족, 매출 발생 전망

나노종합기술원(이하 나노종기원)이 코리아스펙트랄프로덕츠㈜(이하 KSP)와 공동연구를 통해 그동안 수입에 의존하던 반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품 기술 자립에 성공했다.

1일 나노종기원에 따르면 이번에 개발한 광센서 핵심 부품은 높은 측정 정밀도와 차세대 반도체의 높은 품질 유지·수율 확보에 필수적인 첨단분석 기능(스마트 공정 제어)을 갖춘 제품이다. 미국 등 해외 수입에 의존하던 반도체 장비용 센서 부품의 국산 대체가 가능해질 것으로 기대된다.

반도체 측정 장비·센서 시장은 공정 미세화와 대면적화·다양화 추세 등에 따라 글로벌시장에서 경쟁이 치열하다. 현재까지는 해외 기업이 높은 시장 점유율을 확보하고 있는 실정이다. 이번 나노종기원과 KSP의 협업으로 탄생한 부품은 최종 수요기업 납품을 위한 성능기준(정밀도·스마트 공정제어 가능 등)을 충족해 올해부터 매출이 발생할 전망이다. 올해 28억 원에서 2024년 200억 원까지 내다보고 있다.

KSP 관계자는 "나노종기원과의 협력을 통해 세계 최고 기업과 경쟁할 수 있는 혁신제품 개발에 성공할 수 있었다"며 "개발제품은 지난해 12월 국내 반도체 생산라인 장비에 설치돼 시험평가 중이며 올해부터 본격적인 매출 발생이 기대된다"고 전했다.

이조원 나노종기원장은 "이번 국산화 성과는 테스트베드를 활용한 반도체 부품 상용화 성공사례"라며 "향후 반도체 장비·부품 실증평가를 위한 테스트베드 추가 구축 등을 통해 국가 반도체 부품산업 육성에 기여할 계획"이라고 밝혔다.

한편, 이번 개발성과는 과학기술정보통신부 나노종합기술원 지원사업(나노 Open Innovation Lab 협력사업)을 통해 이뤄졌다. 임효인 기자

출처 : 중도일보(www.joongdo.co.kr)

원문 : http://www.joongdo.co.kr/web/view.php?key=20210201010000295