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Film Thickness and Optical Properties Measurement

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Semiconductor Process Monitoring
Environmental Monitoring
Color Measurenet
Film Thickness and Optical Properties Measurement
Raman Spectroscopy

Film Thickness and Optical Properties Measurement

Film Thickness and Optical Properties Measurement

2020 application ; Film (1).png

• 필름 두께 및 광학 특성 측정용 광학 센서

• Spectroscopic Ellipsometer(SE) 와 Spectroscopic Reflectometer(SR) 메인 센서에 응용

• 다양한 반사계 및 타원 계측 시스템을 위해 당사 Monochrometers 와 Spectrometer 를 제공

이러한 시스템을 사용하여 박막 코팅의 두께, 굴절률 및 기타 광학적 특성 측정

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