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Semiconductor Process Monitoring

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Semiconductor Process Monitoring



Semiconductor Process Monitoring



•  반도체 제조 과정 중 플라즈마 공정의 실시간 광학 모니터링 및 진단

•  플라즈마 공정 진단의 다중 채널 기반 OES(Optical Emission Spectroscopy) 시스템

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•  플라즈마 공정의 고분해능 광학 모니터링 및 진단

•  전자 및 가스 온도와 같은 플라즈마 정보의 실시간 측정

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08381, 서울시 구로구 디지털로 273, 402(에이스트윈타워2차)
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