Spectroscopy Analysis Software
• 다양한 분석 모드(Scope, Absorbance, T/R, Color)및 분석 기법 제공 • 다양한 시퀀스 적용을 통한 정밀 데이터 분석 • 분광 감도 보정 및 calibration 기능을 통한 보다 정확하고 신뢰도 높은 분석 결과 확보 • SMProMX 매뉴얼을 통하여 손쉽게 기기의 작동 방법과 데이터 측정 및 보정방법 활용 • 각 그래프에 대한 다양한 해석방법 제공 • 전문적인 반도체 공정 분석용 알고리즘 및 플라즈마 정보 분석 기능 내장(EPD, 가스/전자 온도) NOTE: Please click SMproMX for the brochure file.
OVERVIEW
- SMProMX 는 SM-series spectrometer 운영에 최적화된 spectroscopy analysis software입니다. - 반도체 공정의 End Point Detection, 색도 및 측광 분석, 시료 분석 등의 전문성이 높은 다양한 분야에서 편리하게 사용할 수 있는 프로그램입니다. - 광원의 투과 그래프, 흡수 그래프, 3D그래프, 시간에 따른 파장별 측정 데이터의 실시간 time trend 그래프를 출력하며, 기준 data 와 보간법(interpolation) 을 통하여 그래프 보정 및 상대 분광 감도와 방사 조도에 대한 calibration 기능을 포함하고 있어 보다 정확하고 신뢰도 높은 분석이 가능합니다. - 사용자가 직접 소프트웨어를 구축하여 장비 및 시스템을 새롭게 구성하고 개발할 수 있도록, 분광기 구동 함수가 포함된 DLL 파일과 예제 프로그램을 SDK(Software Development Kit) 형태로 제공합니다. ※ SMProMX 의 저작권은 프로그램을 개발한 코리아스펙트랄프로덕츠㈜에 있습니다